采用符合洁净度要求的气流组织形式
这是空气净化的核心措施。采用过滤的方法(至少三级:粗效、中效、高效或亚高效),使送风气流洁净。在非单向流洁净室中,通过合理布置送风口及回风口,靠洁净送风气流的扩散、稀释作用,把污染物稀释后从回风口排出。保持洁净室的悬浮粒子浓度在要求的范围内。在单向流洁净室中,靠洁净送风气流“活塞”般的平推作用,把污染物从回区口“压”出。
近年来,有些产品的生产要求精密化及高纯度,除需要控制微环境中的微粒污染外,还需要控制其分子污染。为此,在这些洁净室的空气处理系统中还应设置化学过滤器、吸附时滤器及吸收装置。