无尘车间以“每立方米空气中直径大于等于0.5um的灰尘粒的数量”为衡量其洁净度的标准。
“十万级无尘车间”表示“每立方米空气中直径大于等于0.5um的灰尘粒的数量少于10万个”。
所谓十万级是指一英尺的空间内允许存在的0.5微米的尘埃粒子的个数在十万个以内。
1000-30万级净化室和100级以上的净化室不同，室内的气流是以不均匀的速度成不平行流动，伴有回流或涡流，它主要靠洁净的气流不断稀释室内的空气，将室内的污染逐渐排出，来实现净化。不同的净化等级，主要是依靠单位时间内所送风量的不同来实现。
