1范围
GB/T25915 的本部分划分洁净室及相关受控环境的空气洁净度等级仅依据其内的空气悬浮粒子浓度，，，
该浓度系指粒径大于或等于阈值（低限）粒径的粒子总数，规定的阔值（低限）粒径为 0. 1 μm-5 μm。本部未设立 0. 1μm-5 μm 规定粒径以外粒子总数的洁净度等级 。但可以用 U 描述符和 M 描述符，分别表述超微粒子 （<O. 1 μm） 和大粒子 （ >5 μm）的总数。本部分不能用于描述空气悬浮粒子的物理、化学、放射性或存活特性。
注 ：大于或等于某粒径的粒子浓度实际分布一般难以预测，且通常是随时间变化的。
2术语和定义
下列术语和定义适用于本文件 。
2. 1一般
2. 1.1
洁净室cleanroom
空气悬浮粒子浓度受控的房间 ，其建造和使用方式使房间内进入的 、产生的 、滞留的粒子最少，房间 内温度、湿度、压力等其他相关参数按要求受控 。
2. 1. 2
洁净区clean zone
空气悬浮粒子浓度受控的专用空间，其建造和使用方式使区内进入的 、产生的 、滞留的粒子最少 ，区 内温度、湿度 、压力等其他相关参数按要求受控 。
注 ：洁净区可以是开放的或封闭的，可在也可不在洁净室内 。
2. 1. 3
设施installation
所有相关构筑物 、空气处理系统以及服务 、公用系统的洁净室，或一个或数个这样的洁净区 。
2. 1. 4
洁净度等级classification
洁净度分组classification
以 ISO N 级表示的 、洁净室或洁净区内按空气悬浮粒子浓度划分的洁净度水平（或规定 、确定该水 平的过程） 。洁净度等级代表关注粒径粒子的最大允许浓度（表示为每立方米空气中的粒子个数） 。
注 1 ：浓度计算见 3. 2 的式(1） 。
注 2 ：本部分等级的范围限于 ISO 1 级-ISO 9 级。
注 3 ：本部分的等级关注粒径限于 0.1 μm 5 μm 范围（较低阈值） 。指定阈值粒径超出此范围的空气洁净度 ，可以用 U 描述符和 M 描述符（见 2. 3. 1 和 2. 3. 2 ）描述和说明（但不分级） 。
注 4 : ISO 等级可带小数，最小增量为 0.1，ISO 1. 1 级-ISO 8. 9 级。
注 5 ：洁净度等级可适用于所有 3 种占用状态
2. 2空气悬浮粒子
2. 2. 1
粒子particle
其粒径阈值（下限）在 0. 1 μm5 μm 范围的 、累计的固体或液体物质 。
2. 2. 2
粒径particle size
给定粒径测量仪器给出的 、与被测粒子的响应量相当的球形体直径 。
注 2 离散粒子计数器给出的是当量光学直径 。
2. 2. 3
粒子浓度particle concentration
单位体积空气中粒子的个数 。
2. 2. 4
粒径分布particle size distribution
粒子按粒径大小累计得出的粒子浓度 。
2. 2. 5
超微粒子ultrafine particle
当量直径小于 0. 1 μm 的粒子。
2. 2. 6
大粒子macroparticle
当量直径大于 5 μm 的粒子。
2. 2. 7
纤维fiber
（长宽〉 比不小于 10 的粒子。
2. 3描述符
2. 3. 1
U 描述符U descriptor
包括超微粒子在内的 、每立方米空气粒子的实测或规定浓度 。
注 ：U描述符可以作为采样点平均浓度的上限（或置信上限 ，该置信上限依洁净室或洁净区性能评定采样点数量而 定） 。不能用 U描述符确定空气洁净度等级 ，但可以将其单独或随洁净度等级引述 。
2. 3. 2
M 描述符M descriptor
每立方米空气中大粒子的实测或规定浓度 。M 描述符中的当量粒径与测量方法有关 。
注 ：M 描述符可以作为采样点平均浓度上限（或置信上限 ，该值依洁净室或洁净区性能评定采样点数量而定） 。不 能用U描述符确定空气洁净度等级 ，但可以将其单独或随洁净度等级引述 。
2. 4占用状态
2. 4. 1
空态as-built
设施已建成并运行，但没有生产设备 、材料和人员的状态。
2. 4. 2
静态at-rest
设施已建成 ，生产设备已安装好并按需方与供方议定的条件运行 ，但没有人员的状态 。
2. 4. 3
动态operational
设施按规定方式运行 ，其内规定数量的人员按议定方式工作的状态 。
2. 5有关各方
2. 5. 1
需方customer
规定洁净室或洁净区具体要求的机构或其代理 。
2. 5. 2
供方supplier
使洁净室或洁净区达到规定要求的机构 。
3等级
3. 1占用状态
洁净室或洁净区的洁净度等级 ，应按一种或几种占用状态确定 ，即：“空态”、“静态” 、“动态”（见 2. 的。
注 ：“空态”检测适用于新建成或新改造的洁净室或洁净区 。完成了“空态”检测后，应进行“静态”或“动态”或这两者的达级检测 。
3. 2等级编号
空气洁净度等级以等级编号 N 表示 。每种关注粒径 D 的最大允许粒子浓度 c. 由式(1） 确定 ：
（ 1 )
式中
Cn 一一大于或等于关注粒径的粒子最大允许浓度（以每立方米空气中粒子的个数表示）， 将Cn 修 约为不超过 3 位有效数字的整数 ；
N 一ISO 等级的数字编号 ，最大不超过 9 。N 的各整数等级之间可以设定最小增量为 0. 1 的中 间等级；
D一一关注粒径，单位为微米（ μm) ;
0. 1 一一常数，单位为微米（ μm） 。
