层流洁净室的送风量一般按室内断面风速确定，100级垂直层流洁净室断面风速不小于0.25m/s;水平层流洁净室断面风速不小于0.35 m/s。
　　乱流洁净室一般按换气次数估算：
　　千级洁净室换气次数≥50次/h;
　　万级洁净室换气次数≥25次/小时(一般取27-28);
　　十万级洁净室换气次数≥15次/小时(一般17-18)。
　　但是不能盲目按照洁净室换气次数进行设计风量，要考虑房间及工艺余热、余湿。否则刚开始风量也许能满足温湿度要求，系统运行一段时间后就不会效果那么好了。